星空官方网站
简体中文
产品与解决方案
产品中心
工业机器人
移动机器人
特种机器人
晶圆传输机器人
协作机器人
智慧康养机器人
智慧交通装备
行业应用
汽车行业
新能源
工程机械
电子工业
金属加工
船舶钢构
交通行业
石油化工
消费品
其它行业
解决方案
焊接&切割
装配&检测
仓储&物流
服务支持
下载中心
星空官方网站-星空（中国）
星空官方网站-星空（中国）
公司简介
星空官方网站
招贤纳士
联系我们
社会责任
新闻与活动
星空官方网站
项目公告
媒体关注
投资者关系
基本概况
公司公告
股票信息
公司治理
投资者服务
CN
简体中文
Aligner 晶圆预对准装置
Aligner 晶圆预对准装置是新松公司自主研发的一种晶圆校准装置，用于晶圆进入关键工艺腔体前的晶圆几何中心校正和取向校正，精准识别晶圆的位移和角度偏差，为后续工艺提供了可靠的基准，广泛应用于半导体制造的各个阶段
结合小编
产品优势
产品参数
星空官方网站
-
晶圆传输机器人
-
Aligner 晶圆预对准装置
产品优势
全自研解决方案
核心部件均自主研发
兼容性
可兼容多材质晶圆
适配性
可适配多尺寸晶圆
精准识别
精准识别晶圆的位移与角度偏差
产品参数
晶圆纠偏精度
±0.1mm
晶圆转角精度
±0.2°
下载信息验证
名字：
集团：
电销：
邮箱地址：
需求分析：
阅续：
我已阅读书并允许《手机隐私条例》和《服務合同》
直接撤回
安全咨询热线电话
400-800-8666
大学生消费群体号
调用最上层
星空官方网站
